經(jīng)濟(jì)型掃描電鏡是從光學(xué)到電子顯微鏡轉(zhuǎn)換的理想工具。它是高分辨率成像的經(jīng)濟(jì)型解決方案，可提供成像結(jié)果。具有景深大、分辨率高，成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類豐富，幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。目前，已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究，僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。
經(jīng)濟(jì)型掃描電鏡組成：
掃描電鏡大致可以分為鏡體與電源電路系統(tǒng)兩個(gè)組成部分。鏡體部分主要包括電子光學(xué)系統(tǒng)，信號收集與顯示系統(tǒng)，真空抽氣系統(tǒng)。
（1）電子光學(xué)系統(tǒng)
由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強(qiáng)度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
?。?）信號收集及顯示系統(tǒng)
檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。
?。?）真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
?。?）電源系統(tǒng)
電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
經(jīng)濟(jì)型掃描電鏡的主要性能：
1、放大倍數(shù)
在掃描電子顯微鏡中，放大倍數(shù)是通過調(diào)節(jié)電子束在樣品表面掃描的幅度來實(shí)現(xiàn)的，在操作過程中，只需改變掃描線圈的驅(qū)動電流就可以確定所需的放大倍數(shù)。
2、分辨率
分辨率在掃描電子顯微鏡中具有重要性，其定義在微區(qū)成分分析中表示能夠分析的較小區(qū)域，而在成像中表示能夠分辨兩點(diǎn)之間的較小距離。這一性能指標(biāo)在相同放大倍數(shù)下起著關(guān)鍵作用，因?yàn)椴煌姆直媛蕰?dǎo)致觀察到的表面形貌細(xì)節(jié)存在差異。下圖對比展示了不同分辨率的圖片，其中（a）是高分辨率圖片，（b）是低分辨率圖片。盡管兩張圖呈現(xiàn)了相似的試樣形貌，但在形貌細(xì)節(jié)方面存在顯著差異。高分辨率的（a）圖清晰地展示了樣品表面的形貌細(xì)節(jié)，而低分辨率的（b）圖由于分辨率不足，無法清晰地觀察到細(xì)節(jié)。
圖片為不同分辨率圖片對比（a）高分辨率（b）低分辨率
3、景深
掃描電鏡具有大的景深，指的是在聚焦完成后，一定縱深范圍內(nèi)的物體都能呈現(xiàn)清晰的圖像。這種縱深范圍被稱為景深。在聚焦時(shí)，掃描電鏡能夠清晰地顯示聚焦面及其前后的圖像，這使得觀察表面的凹凸不平信息更為便捷。下圖生動展示了掃描電鏡的大景深特性，能夠呈現(xiàn)出比較立體的圖像，有效地還原樣品的真實(shí)形貌。
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